形状解析レーザー顕微鏡

        

VK-Xシリーズ (KEYENCE製)
研究館地下0L01

        

デジタルマイクロスコープ(デジタル拡大が可能な実体顕微鏡)の機能に加えて、レーザー光を搭載による精密な計測が可能となった高機能型実体顕微鏡ともいえる顕微鏡です。
電子顕微鏡も微細構造を観察するための装置ですが、電子顕微鏡の光源は電子線であるため、観察試料が持つ色については情報を得ることができませんでした。本顕微鏡は、可視光での観察となるため、試料の色についても観察が可能となり、電子顕微鏡での微細構造の情報に、色彩情報を加えることができるようになります。さらに、レーザー光を搭載しているため、可視光では観察しにくい白色試料や透明な試料についても界面における情報を取得することによって、形状解析ができるようになっています。

形状解析レーザー顕微鏡 VK-X 主な仕様
総合倍率* ~28800倍
高さ測定 表示分解能 5nm
正確さ** 0.2+L/100μm
以下
(L=測定長μm)
幅測定 表示分解能 10nm
正確さ** 測定値の±2%
以内
測定用レーザー光源 赤色半導体
レーザー 661nm

 *:23型モニター画面上での倍率(フル画面表示のとき)
**:標準試料(基準スケール)を20倍以上のレンズで測定したとき

観察・解析用モニター画面可視光・レーザー光共に、照射光の反射光を利用して観察・計測するため、光の反射領域における3D画像の観察が可能。さらに、3D画像における任意の面での計測解析が可能。