走査型電子顕微鏡

       

JSM-5310LV, JSM-6010LA 
JEOL(日本電子㈱)
 研究館BF 0L01 

 観察できるもの 

品、繊維・織物、建築材料、考古資料など、さまざまなモノを比較的手軽に観察することができます。電子顕微鏡の観察環境は真空状態を保つ必要があるため、水分を多く含むものは組織の固定と脱水処理が必要となります。また、試料が絶縁体の場合には金属コーティングを行って観察するかまたは、コーティングのできないような非破壊での観察が必要な場合は低真空モード(LV)で観察を行います。

走査型電子顕微鏡で観察した「スギ花粉」(左)
花粉に付着する微粒子オービクルの拡大(右)

 装置の特徴 

  

試料の表面に細く絞った電子線を照射しながらなぞっていき、試料表面から跳ね返ってくる二次電子もしくは反射電子を検出して、試料表面の形状を観察する装置です。

走査型電子顕微鏡では試料は電子線を跳ね返すことができるくらいの厚みが必要です。

JSM-5310LV装置の分解能は4.5nm(高真空モード)
JSM-6010LA装置の分解能は4.0nm(20kV)

両機種とも倍率は30万倍まで設定することができます。

 

JSM-6010LAにはエネルギー分散型X線分析装置(EDS)が装備されているので、観察部位のBe~Uまでの元素分析(スペクトルとマッピング)が可能です。

 

JSM-5310LV

これまでに観察された試料
○天然繊維・化学繊維・織物 ○微生物・プランクトン
○野菜・果実・種子 ○建築材料
○食物繊維 ○金属片・金属製品
○生デンプン粒 ○漆・木片
○米・米飯・餅 ○植物茎・葉・花弁・花粉
○パン 〇考古資料
etc.

 周辺機器 

凍結乾燥装置 JFD-300 (JEOL)

臨界点乾燥装置 JCPD-5 (JEOL)

イオンスパッタリング装置 JFC-1100 (JEOL)

マグネトロン・スパッタリング装置 JUC-5000 (JEOL)

真空蒸着装置 JEE-400 (JEOL)

凍結試料作製装置 JFD-9010 (JEOL)